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非传统微纳制备技术在驻极体研究中的应用
非传统微纳制备技术在驻极体研究中的应用
资料类型:
PDF文件
关键词:
非传统技术
聚合物有序组装
驻极体
图案化
资料大小:
1209K
所属学科:
分子表征
来源:
2010年两岸三地高分子液晶态与超分子有序结构学术研讨会论文集(2010.8.23~26,郑州)
简介:
非传统微纳制备技术主要是指软刻蚀及其衍生的技术,与目前在微制造领域广泛使用的光刻蚀技术相比,软刻蚀的优势主要集中在过程简单,成本低,可以有效提高微制作的效率,并且能够实现平面和曲面上的微/纳米图案(1,2,3维)的微图形转移和微制造等方面。
作者:
曹廷炳*,薛面起,赵丹,马欣蕾
上传时间:
2011-01-18 14:07:14
下载次数:
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